日本理學(xué)波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF，簡(jiǎn)稱理學(xué)波譜)一般由光源(X-射線管)、樣品室、分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。為了準(zhǔn)確測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系安裝在-一個(gè)精密的測(cè)角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強(qiáng)度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要大,一般為2~3千瓦。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率,大部分電能均轉(zhuǎn)化為熱能產(chǎn)生高溫,所以X射線管需要專門的冷卻裝置(水冷或油冷)，因此波譜儀的價(jià)格往往比能譜儀高。

能量色散型熒光光譜儀(DE-XRF),一般由光源(X-射線管)、樣品室和檢測(cè)系統(tǒng)等組成,與波長(zhǎng)色散型熒光光儀的區(qū)別在于它不用分光晶體。由于這一特點(diǎn)，使能量色散型熒光光儀具有如下的優(yōu)點(diǎn):

1、儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，省略了晶體的精密運(yùn)動(dòng)裝置,也無需精確調(diào)整。還避免了晶體衍射所造成的強(qiáng)度損失。光源使用的X射線管功率低,一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。

2、能量色散形熒光光儀的光源、樣品、檢測(cè)器彼此靠得很近,X射線的利用率很高,不需光學(xué)聚集，在累積整個(gè)光譜時(shí)，對(duì)樣品位置變化不象波長(zhǎng)色散型熒光光儀那樣敏感，對(duì)樣品形狀也無特殊要求。

3、在能量色散譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時(shí)進(jìn)入檢測(cè)器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時(shí)累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎(chǔ),也能清楚地表明背景和干擾線。因此,半導(dǎo)體檢測(cè)器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。